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日本SMC 平穩(wěn)出氣閥XVD
產(chǎn)品時(shí)間：2024-11-15
閥與針閥一體化結(jié)構(gòu)使配管縮短為原來的1/4。
（閥芯）座部分采用間隙隔膜，微粒子數(shù)量大幅降低。
伴隨主供氣初期供氣可進(jìn)行流量調(diào)整。

日本SMC 平穩(wěn)出氣閥XVD

高真空元件

點(diǎn)擊系列名顯示產(chǎn)品樣本。點(diǎn)擊。  檢索CAD數(shù)據(jù)。


 
鋁制高真空L型閥   XL□
 


 
系列/CAD動(dòng)作方式軸密封形式
 		閥形式材質(zhì)法蘭尺寸
XLA 氣控波紋管密封單作用
（N.C.）		閥體：
　鋁合金
波紋管：
　SUS316L		16～80
XLAV
（帶電磁閥） 
XLC 雙作用
XLCV
（帶電磁閥） 
XLF O形圈密封
 		單作用
（N.C.）		閥體：
　鋁合金		16～160
XLFV
（帶電磁閥） 
XLG 雙作用16～80
XLGV
（帶電磁閥） 
XLD 波紋管?
O形圈密封
 		單作用
（N.C.）		閥體：
　鋁合金
波紋管：
　SUS316L		25～80
XLDV
（帶電磁閥） 
XLH 手動(dòng)波紋管密封
 		手動(dòng)閥體：
　鋁合金
波紋管：
　SUS316L		16～50
XLS 電磁式波紋管壓力平衡單作用
（N.C.）		16, 25
特長(zhǎng)
  • 抗氟腐蝕能力強(qiáng)。
  • 放出氣體少。
  • 重金屬污染少。

 

鋁制快換接頭裝拆 高真空L型閥  XLAQ·XLDQ
 


 
系列/CAD動(dòng)作方式軸密封形式閥形式材質(zhì)法蘭尺寸
XLAQ 氣控波紋管密封單作用
（N.C.）		閥體：
　鋁
波紋管：
　SUS316L		16～50
XLDQ 波紋管密封
O形圈密封		40,50
特長(zhǎng)
  • 快換接頭裝拆 （無需工具）

 

不銹鋼制高真空L型閥／直通閥  XM/XY
 


注）對(duì)直通型無尺寸16的閥。
系列/CAD
（L型/直通型）		動(dòng)作方式軸密封方式閥形式材質(zhì)法蘭尺寸
XMA/XYA 氣控波紋管密封單作用
（N.C.）		閥體：
　 SCS13
　 （相當(dāng)SUS304）
波紋管：
　 SUS316L		16～80注）
XMC/XYC 雙作用
XMD/XYD 波紋管
O型圈密封		單作用
（N.C.）		閥體：
　SCS13
?。ㄏ喈?dāng)SUS304）
波紋管：
　SUS316L		25～80
XMH/XYH 手動(dòng)波紋管密封手動(dòng)閥體：
　SCS13
　 （相當(dāng)SUS304）
波紋管：
　SUS316L		16～50注）
特長(zhǎng)
  • 采用精密鑄造一體化結(jié)構(gòu)，無氣體滯留。
  • 與鋁制高真空L型閥XL系列的安裝有互換性 （XM系列）

 

磁性開關(guān)   D
 


 
系列磁性開關(guān)種類內(nèi)容
D Series 有觸點(diǎn)的磁性開關(guān)一般 （通用型）
無觸點(diǎn)的磁性開關(guān)一般 （通用型）

 

平穩(wěn)出氣閥   XVD
 


 
系列/CAD閥形式使用流體配管連接方式配管尺寸
XVD 常斷
（加壓通/彈簧密封）		氮?dú)?、空氣、惰性氣體等VCR®
Swagelok®		1/4B
特長(zhǎng)
  • 閥與針閥一體化結(jié)構(gòu)使配管縮短為原來的1/4。
  • （閥芯）座部分采用間隙隔膜，微粒子數(shù)量大幅降低。
  • 伴隨主供氣初期供氣可進(jìn)行流量調(diào)整。

 

門閥   XGT
 


 
系列/CAD使用壓力范圍 （Pa）使用流體門尺寸
（高×寬） （mm）		動(dòng)作壓力
（MPa）
XGT 大氣壓～1×10-6惰性氣體系的真空32×222
46×236
50×336		0.45～0.6
特長(zhǎng)
  • 對(duì)于半導(dǎo)體裝置等場(chǎng)合、適合于負(fù)載鎖定室和傳送室以及傳送室和過程室之間有門閥隔開的場(chǎng)合。

 

真空無桿氣缸   CYV
 


 
系列/CAD使用環(huán)境壓力｛Pa （ABS）｝缸徑 （mm）
CYV 大氣～1.3×10-415,32
特長(zhǎng)
  • 真空環(huán)境內(nèi) （1.3×10-4Pa） 在搬運(yùn)場(chǎng)合可以使用的氣缸。

 

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